|
| Обозначение: | ГОСТ 25662-83 |
| | Статус: | действующий |
| | Название рус.: | Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные диффузионные. Методы испытаний |
|
| Название англ.: | Vacuum equipment. Diffusion vacuum pumps. Test methods |
|
| Дата актуализации текста: | 27.10.2010 |
| | Дата актуализации описания: | 27.10.2010 |
|
| Дата введения в действие: | 01.01.1984 |
|
| Область и условия применения: | Настоящий стандарт распространяется на диффузионные вакуумные насосы с водяным охлаждением, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, предназначенные для откачивания из герметичных объемов воздуха, газов и парогазовых смесей, предварительно очищенных от капельной влаги и механических загрязнений и неагрессивных к материалам конструкций |
|
| Список изменений: | №1 от 01.10.1984 (рег. 29.04.1984) «Срок действия продлен»
№2 от 01.01.1989 (рег. 03.11.1988) «Поправка»
|
|
